3μm尘粒97%的清除率，6μm尘粒98%的清除率
超声波干式除尘设备(Ultrasonic Dry Cleaner)，通过鼓风机，给除尘头的超声波发生腔提供8-16Kpa的洁净气体，气体通过超声波发生器产生超声波，利用超声波传播的能量及振动，使尘粒克服玻璃基板表面的粘附力，以拉升、滚动及滑动三种运动方式(单一或混合）从玻璃基板表面脱离，使得尘粒从玻璃基板表面分离出来。
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