微波等离子去胶机反应速度快，反应时间短，处理过程温度低
ICP干法等离子去胶机适用于DESCUM（预前处理，去胶渣）、聚合物去除（PI、BCB、PBO）、离子注入后光阻去除等，腔体适用范围8寸样品（4-6寸兼容）。
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